芯東西（公眾號：aichip001）
作者 |? 程茜
編輯 | ?Panken
芯東西12月25日消息，今日下午，中國政務(wù)采購網(wǎng)發(fā)布單一來源采購步進掃描式光刻機項目成交公告，上海微電子裝備（集團）股份有限公司作為單一來源中標，中標金額約為1.10億元，采購方為科學(xué)技術(shù)部。
該項目的貨物是1臺步進掃描式光刻機，貨物型號為SSC800/10。
11月7日，中國政府購買服務(wù)信息平臺發(fā)布《科學(xué)技術(shù)部zycgr22011903單一來源采購步進掃描式光刻機征求意見公示》。
該項目采用單一來源方式采購，預(yù)算金額為1.13億元。
在單一來源采購專家論證意見表中提到，步進掃描式光刻機具備高分辨率光學(xué)成像能力（分辨率≤110nm）和優(yōu)異的套刻精度（≤15nm），可支持微米乃至亞微米級結(jié)構(gòu)的高均勻性、高穩(wěn)定性加工。
目前上海微電子是國內(nèi)目前唯一具備先進前道光刻機研發(fā)與制造能力的企業(yè)，其最新機型已可實現(xiàn)分辨率≤110nm、套刻精度≤15nm的性能指標。
意見表還提到，步進掃描式光刻機是實現(xiàn)萬通道級神經(jīng)電級制造不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一。
11月至今，國內(nèi)多所高校及科研機構(gòu)發(fā)布了光刻機相關(guān)招標、中標公告。
11月28日，杭州玉之泉精密儀器有限公司中標中國科學(xué)院高能物理研究所雙光子三維激光直寫光刻機采購項目，中標金額為120萬元；11月5日，南京大學(xué)發(fā)布無掩膜激光直寫光刻機公開招標公告，預(yù)算金額為180萬元；12月23日，未知采購人發(fā)布電子束光刻機設(shè)備采購合同，預(yù)算金額為2100萬元。
