芯東西（公眾號：aichip001）
作者 | ?ZeR0
編輯 | ?漠影
芯東西7月7日報道，6月30日，國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（簡稱“中科儀”）北交所IPO申請獲受理。
中科儀有限公司成立于2001年4月，股份公司成立于2011年12月，注冊地址在沈陽市，注冊資本為1.72億元，被評為2020年度、2023年度國家“專精特新”小巨人企業(yè)。
其法定代表人為中科儀董事長郭東民，控股股東是國科科儀控股有限公司，實際控制人是中國科學(xué)院控股有限公司。
作為中國科學(xué)院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術(shù)研究和發(fā)展的企業(yè)，中科儀是我國真空技術(shù)及真空類科學(xué)儀器攻堅的主力軍，是集成電路領(lǐng)域出貨量最大的國產(chǎn)干式真空泵制造企業(yè)，也是唯一在集成電路先進制程實現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，以及唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，有效保障了我國集成電路制造設(shè)備關(guān)鍵零部件的自主可控和供應(yīng)鏈安全。
中科儀的主要產(chǎn)品包括用于集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導(dǎo)體產(chǎn)品制造的干式真空泵，以及面向國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和科研領(lǐng)域的真空科學(xué)儀器設(shè)備。
截至目前，中科儀各類干式真空泵的出貨量已累計超過4萬臺，其中集成電路領(lǐng)域出貨量超2.5萬臺。
根據(jù)市場預(yù)計數(shù)據(jù)測算，2024年中科儀干式真空泵在集成電路領(lǐng)域國內(nèi)市占率約為12.72%，打破歐美及日本企業(yè)在國內(nèi)市場的長期壟斷。國內(nèi)主要同行業(yè)企業(yè)尚處于小批量導(dǎo)入階段。
其集成電路企業(yè)客戶數(shù)量已超過100家，包括中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫存儲、晶合集成、華潤微、上海積塔、廣州粵芯、青島芯恩等國內(nèi)主流晶圓廠，以及北方華創(chuàng)、拓荊科技、中微公司等國內(nèi)領(lǐng)先半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)，且產(chǎn)品已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現(xiàn)小批量出貨。
截至2024年末，中科儀分別持有拓荊科技1.54%股份、中科信息0.80%股份，公允價值合計7.35億元，占中科儀期末資產(chǎn)總額的比例為25.20%。
中科儀于2014年7月16日在全國中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)（新三板）掛牌上市，2020年曾向上交所提交了科創(chuàng)板IPO申請，但隨后在2021年5月主動撤回。目前中科儀最新市值為74億元。
本次IPO，中科儀擬募資8.25億元，用于干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)、高端半導(dǎo)體設(shè)備擴產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目。
一、年收入超10億，持股拓荊科技、中科信息
真空泵是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵部件。集成電路產(chǎn)業(yè)15個主要工藝環(huán)節(jié)中的11個需要使用真空泵實現(xiàn)真空環(huán)境的獲得，占比超過70%。
隨著集成電路制程逐漸向先進工藝演進，制造的精細度和復(fù)雜度顯著提升，對潔凈真空環(huán)境的要求也更加苛刻，越來越多的工序需要移入真空環(huán)境中進行，且每道工序所需要的真空泵的數(shù)量和技術(shù)要求越來越高。
例如當(dāng)先進工藝演進到7nm時，必須使用EUV光刻技術(shù)，與傳統(tǒng)光刻技術(shù)不同的是，EUV光刻技術(shù)必須在真空環(huán)境中才能實現(xiàn)。
作為中國科學(xué)院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術(shù)研究和發(fā)展的單位，中科儀前身自1958年成立以來一直圍繞國家科技創(chuàng)新需求，承擔(dān)多項重大科研項目，開展真空技術(shù)研發(fā)，是真空類科學(xué)儀器設(shè)備攻堅的主力軍。
在此基礎(chǔ)上，中科儀持續(xù)將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)應(yīng)用，提升干式真空泵的國產(chǎn)化水平和應(yīng)用規(guī)模，逐漸成為中國半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的核心零部件提供商。
▲中科儀主營業(yè)務(wù)演變情況
2022年、2023年、2024年，中科儀的營收分別為6.98億元、8.52億元、10.82億元，凈利潤分別為4.98億元、6.00億元、1.93億元，研發(fā)費用分別為0.60億元、0.85億元、1.10億元。
▲2022年~2024年中科儀營收、凈利潤、研發(fā)支出變化（芯東西制圖）
其凈利潤波動較大，主要原因是截至2024年末，中科儀分別持有A股上市公司拓荊科技1.54%股份、中科信息0.80%股份。報告期內(nèi)各期，中科儀因持有這些上市公司股份產(chǎn)生的公允價值變動損益和出售股份產(chǎn)生的投資收益合計分別為4.62億元、5.46億元、0.08億元，均計入非經(jīng)常性損益。
中科儀歸屬于母公司所有者的扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤由2022年的6186.11萬元增至2024年的8787.75萬元，復(fù)合增長率為19.19%。
2022年、2023年、2024年，中科儀的綜合毛利率分別為 32.60%、33.02%、29.44%，低于同行業(yè)上市公司，主要原因是拓荊科技、華海清科、北方華創(chuàng)、中微公司均從事半導(dǎo)體核心設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)和銷售，議價能力相較中科儀更強，產(chǎn)品毛利率相對較高；與中科儀產(chǎn)品在半導(dǎo)體產(chǎn)線應(yīng)用場景較為相像的上市公司為京儀裝備，毛利率無顯著差異。
按產(chǎn)品及服務(wù)類別區(qū)分，干式真空泵是中科儀的第一大收入支柱，過去三年收入占比逐年增長。
2024年，其超過84%的收入來自集成電路應(yīng)用領(lǐng)域。
中科儀自主研發(fā)形成了8大核心技術(shù)。截至2024年末，該公司共有158名研發(fā)人員，占員工總數(shù)的16.83%；擁有發(fā)明專利99項，取得軟件著作權(quán)登記30項，負責(zé)或作為主要參與方起草了13項真空技術(shù)相關(guān)的國家、行業(yè)及團體標(biāo)準(zhǔn)。
二、研制3大系列近40款干式真空泵，大客戶包括長江存儲、中芯國際
2022~2024年，中科儀干式真空泵的銷量超過2萬臺。
干式真空泵是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體領(lǐng)域主流用泵。中科儀的干式真空泵產(chǎn)品主要為羅茨干泵，研制的3大系列近40款型號干式真空泵產(chǎn)品已實現(xiàn)大批量應(yīng)用，可適配ASML、KLA、LAM Research、AMAT、TEL、HITACHI、北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技、東方晶源等30余家國內(nèi)外主流設(shè)備廠商的數(shù)百種機臺，全面滿足市場多樣化需求。
半導(dǎo)體苛刻工藝制程工況復(fù)雜，對干式真空泵的要求極高。中科儀率先研制出用于苛刻工藝制程的產(chǎn)品，打破國外廠商的長期壟斷，其干式真空泵產(chǎn)品滿足14nm先進邏輯芯片以及128層及以上 3D NAND等存儲器工藝的生產(chǎn)需要，已在中國各領(lǐng)先晶圓制造企業(yè)實現(xiàn)大批量應(yīng)用。
除硅基半導(dǎo)體外，其干式真空泵產(chǎn)品也可廣泛應(yīng)用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導(dǎo)體的制備，并已實現(xiàn)批量交付。
2022年、2023年、2024年，中科儀向前五名客戶的銷售金額分別占當(dāng)期營收的42.11%、41.84%、44.06%，不存在向單個客戶的銷售比例超過總額50%的情形，也不存在嚴(yán)重依賴于少數(shù)客戶的情形。
過去三年，其大客戶包括長江存儲、隆基綠能、中芯國際、青島芯恩、中科院高能物理研究所、上海積塔半導(dǎo)體、長鑫科技、北方華創(chuàng)等。
中科儀持股5%以上的股東國家集成電路基金，直接持有上述主要客戶權(quán)益情況如下：
同期，中科儀向前五名供應(yīng)商的采購金額分別占當(dāng)期總采購額的35.97%、30.33%、34.83%，不存在向單個供應(yīng)商的采購比例超過總額50%的情形，也不存在嚴(yán)重依賴于少數(shù)供應(yīng)商的情形。
報告期內(nèi)，中科儀控股股東、實際控制人、董事、監(jiān)事、高級管理人員以及持股5%以上的股東與上述供應(yīng)商不存在關(guān)聯(lián)關(guān)系，亦不存在占有上述供應(yīng)商權(quán)益的情形。
三、背靠中科院，國家大基金為第二大股東
截至招股書簽署日，國科科儀占中科儀股份總數(shù)35.21%，是中科儀的控股股東。
中國科學(xué)院控股有限公司（簡稱“國科控股”）持有國科科儀100%股權(quán)，通過國科科儀控制中科儀35.21%股份，是中科儀的實際控制人。中國科學(xué)院持有國科控股100%股權(quán)。
持有中科儀5%以上股份的股東還包括：國家集成電路基金，持股19.73%；渾璞五期，持股5.01%。
▲本次發(fā)行前中科儀前十名股東情況
截至2025年6月9日，中科儀董事、監(jiān)事、高級管理人員及其近親屬持股情況及該等股份截至招股書簽署日的限售情況如下：
其核心技術(shù)人員持有中科儀的股份情況如下：
結(jié)語：國外企業(yè)仍有先發(fā)優(yōu)勢，真空泵面臨市場競爭加劇風(fēng)險
國外領(lǐng)先真空泵企業(yè)成立時間較早、業(yè)務(wù)規(guī)模較大、產(chǎn)品布局完備，并已在多個應(yīng)用領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用。Edwards、Ebara 等國際領(lǐng)先廠商在真空技術(shù)領(lǐng)域擁有數(shù)十年的研發(fā)、制造經(jīng)驗，積累了大量產(chǎn)品設(shè)計和技術(shù)工藝。這些廠商已在國內(nèi)外主要設(shè)備廠或晶圓廠中實現(xiàn)導(dǎo)入，具有先發(fā)優(yōu)勢。
目前中科儀的干式真空泵在集成電路應(yīng)用領(lǐng)域中，在國產(chǎn)廠商中處于絕對領(lǐng)先地位。雖然近年來受國家重大科技專項等政策支持，以中科儀為代表的國內(nèi)企業(yè)實現(xiàn)了在集成電路制造領(lǐng)域的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化，但由于我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)起步較晚、規(guī)模有限、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)相對薄弱，與國外知名的競爭對手相比在品牌知名度、產(chǎn)品批量應(yīng)用規(guī)模等方面均存在一定劣勢。
此外，規(guī)模較大的晶圓廠在選擇零部件供應(yīng)商時，通常會優(yōu)先考慮真空泵已在其產(chǎn)線中批量應(yīng)用，或真空泵已成功應(yīng)用至其他領(lǐng)先晶圓廠產(chǎn)線中的供應(yīng)商。
報告期內(nèi)，中科儀銷售的干式真空泵主要應(yīng)用于集成電路、光伏領(lǐng)域。而國際領(lǐng)先廠商的產(chǎn)品類型豐富，下游應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體、工業(yè)制造、生物醫(yī)藥等多個領(lǐng)域。相比之下，中科儀的產(chǎn)品覆蓋領(lǐng)域有限，仍需進一步拓展，并面臨市場競爭加劇的風(fēng)險。
